特点
·高精度光栅编码器反馈系统
·全数字驱动器
·0.5µrad的位置分辨率
·近似为零的温度漂移和开关机漂移
·的抗干扰能力
| ExtraGalvo-S | ExtraGalvo-L | |
| 机械特性 | ||
| 转动惯量 | 5.5g·c㎡ | 6.51g·c㎡ |
| 力常数 | 21N·mm/A | 21N·mm/A |
| 线圈电阻 | 2.3Ω | 2.3Ω |
| 线圈电感 | 320µH | 320µH |
| 大平均电流 | 3A | 3A |
| 峰值电流 | 10A | 10A |
| 连接 | SD-15 SOCKET | SD-15 SOCKET |
| 惯性载荷 | ||
| 载荷（推荐） | 0.35g·c㎡ | 8g·c㎡ |
| 载荷（大） | 1.5g·c㎡ | 25g·c㎡ |
| 入射光斑 | 10mm | 20-30mm |
| 阶跃响应时间（1%全行程） | 0.55ms | 0.9ms |
| 动态跟踪误差 | 0.2ms | 0.35ms |
| 光学性能 | ||
| 大扫描角度 | ±15° | |
| 零位漂移 | ＜15µrad/K | |
| 增益漂移 | ＜8ppm/K | |
| 重复精度 | ＜5µrad | |
| 8小时长期老化漂移 | ＜0.1mrad | |
| 工作温度 | 25°±10 | |
粤公网安备 44030702001206号