ENTEGRIS-集成流量控制器-InVue6550

产品型号：InVue6550

产品介绍：Entegris 正在使用创新的流量控制技术解决当今的流量控制挑战。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 专为散装化学品流量控制而设计。 IFC 6550 型设计的流速为 60、90 或 120 L/min，非常适合用于次晶圆厂散装化学品输送应用以及需要高流量的液体处理系统。集成流量控制器采用成熟可靠的差压流量测量技术和先进的闭环过程控制。 视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断，使用户能够集成更多的过程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型设计用于超纯液体化学品、去离子水和 CMP 浆料应用。 它还设计用于控制气泡产生介质。

性能特点：

使用成熟可靠的差压流量测量技术和先进的闭环过程控制

视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断

集成压力传感器提供额外的过程信息

使用气泡产生介质经过验证的测量和控制

坚固的设计提供稳定性和长期可靠性

设计为 60、90 或 120 L/min 流速

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。

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