不锈钢罗茨真空泵

不锈钢罗茨真空泵

罗茨真空泵的优点：
是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率，但罗茨真空泵不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统压力抽到罗茨真空泵允许启动压力时，才可启动罗茨真空泵。根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵后罗茨真空泵所能达到的
极限压力有所不同。罗茨真空泵可广泛应用于需要大抽速和中等真空（10-1-10-2Pa）的任何真空系统中

 罗茨真空泵抽气过程：
罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时，该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时，下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。

不锈钢罗茨真空泵