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产品型号：VaporSorb CSP-32
产品介绍：Entegris 是微电子行业空气分子污染 (AMC) 控制领域的佼佼者。 我们的 VaporSorb CSP-32 化学空气过滤器为曝光工具光学元件和光刻胶提供保护。 CSP-32 过滤器包含碳和聚合化学介质的独特组合，可针对并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物质（如 SO2）、分子碱（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有机化合物，定义为沸点大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。专门设计用于 Entegris 的定制过滤器外壳，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 过滤器以串联方式使用，以提供保护，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶剂和显影剂化学品泄漏。
性能特点：
不对称滤波器设计可防止 HDMSO 转换为 TMS
去除酸、碱和可冷凝的有机物
折叠式过滤器设计采用刚性深框
低压降使多个保护层的串联过滤器布局成为可能
堆栈间采样端口，便于监控
上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。
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