矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )成立于2003年,公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发,可用于各类气体及微流体的流量计量和测控,为传统的流体计量带来了根本性变革,提供了全新的拓展空间。
矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备,工业制造业用气测量及过程控制,环保等多个领域;在医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统,食品加工,科学气体分析仪器,楼宇自控,民用健身、设备等领域也有广泛的应用;在全新的燃料电池等尖端科技领域亦有不可替代的应用。 目前,产品已销售到美国、日本、欧洲、南美、大洋洲、东南亚等多个国家和地区。
矽翔公司是GB/T 20727-2006《热式质量流量计》起草单位之一。